问:PTIQ软件什么时候可用?
A: PTIQ现已开通。自2020年2月以来,我们的系统已经报价,正在建造,并与PTIQ一起出厂。目前,我们约75%的产品线正在使用PTIQ,这意味着PlasmaPro 100、80和800目前已为新软件设置。我们新的ATOMFAB系统也包括PTIQ。在今年年底之前,它将在我们的Ionfab、Estrelas和Polaris系统上提供。
问:如果我有一个蚀刻系统和一个沉积系统,它们会是相同的软件和工作方式吗?
是的。新软件的一个重要目标是提供一致的外观和感觉,并找到操作所有系统所需的共同操作。会有一些显著的差异,但它们与所涉及的具体技术有关。这意味着,无论模块存在于相同的集群配置中,还是作为两个单独的单一模块工具并排存在,软件都将完全相同。
问:PTIQ适用于集群系统吗?
答:PTIQ支持我们的三个产品系列:开负载、单模块和集群系统。所有这三种系统类型的感觉和外观都是一样的,并且以类似的方式操作。
问:PTIQ触摸屏兼容吗?
答:我们在设计软件时考虑到它将通过触摸屏进行控制,确保24英寸触摸屏的活动区域至少为1平方厘米。虽然SEMI E95标准不再活跃,但它仍然有助于为半导体资本设备公司(Semiconductor Capital Equipment)制作触摸屏操作界面。
问:PTIQ多显示器兼容吗?
答:这是我们的短期路线图。我们从一开始就构建了支持双监视器的软件,但这还不能在软件中激活,因为这个功能在完成之前还需要再做一些工作。
问:参数(例如RF)可以通过循环从开始值和结束值分级吗?
答:此功能正在开发中,以支持更先进的深层硅蚀刻工艺。我们的实现在发布时将可用于所有流程模块,而不仅仅是Estrelas工具。
问:你们有没有这个软件的模拟器,可以安装在我们的个人电脑上进行测试或培训?
A:是的,我们有一个模拟器可以用于这个目的。例如,它很好地模拟了硬件,包括一些简单的算法来模拟压力控制中涉及的物理。
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