化学气相沉积(CVD)技术是纳米材料研究的主力技术。这种技术的灵活性允许沉积到原子层以及更厚的薄膜。PlasmaPro 100 Nano通过原位催化剂激活和严格的过程控制,提供了高性能的纳米材料生长。
化学气相沉积(CVD)和PECVD工具用于生长1D/2D纳米材料和异质结构。PlasmaPro 100 Nano(原名Nanofab)提供了高性能的纳米材料生长…