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化学气相沉积(CVD)系统

化学气相沉积(CVD)技术是纳米材料研究的主力技术。这种技术的灵活性允许沉积到原子层以及更厚的薄膜。PlasmaPro 100 Nano通过原位催化剂激活和严格的过程控制,提供了高性能的纳米材料生长。

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