狗万正网地址牛津仪器ALD产品系列通过将远程等离子ALD工艺与热ALD相结合,在纳米结构和器件的工程中提供了独特的灵活性和能力。
FlexAL原子层沉积(ALD)系统提供了广泛的优化的高质量等离子ALD和热ALD过程,在前体、过程中具有最大的灵活性…
Atomfab为GaN电源和射频器件提供快速、低损伤、低COO生产等离子ALD处理。