离子束系统

离子束技术通过提供单一工具和最大限度地提高系统利用率，为蚀刻和沉积提供了一种非常通用的方法。离子束蚀刻提供了最大的灵活性和良好的均匀性，而离子束沉积是理想的能力，以产生高质量的沉积膜，致密和光滑的表面。