碳化硅和氮化镓功率器件

高效的电源开关和转换设备用于制定可能的新技术，如电动汽车和本地电力创建和分销网络。

通过使用诸如SIC.和氮化镓意味着降低能量损失。狗万正网地址牛津仪器深入了解如何通过其处理解决方案制定最优化的设备，例如原子层沉积那等离子体蚀刻和等离子体沉积。

下载手册

ATOMFAB ALD系统

Atomfab是我们在ALD系统技术方面的最新创新，为GaN功率和射频器件提供快节奏、低损伤、低CoO生产的等离子ALD处理。

优异的薄膜均匀性
低subsrate损害
竞争团体

了解更多

SiC孔蚀刻SEM图像

SiC孔蚀刻SEM图像

碳化硅孔蚀刻特写扫描电镜图像

碳化硅孔蚀刻特写扫描电镜图像

平滑和垂直的SIC特征蚀刻

平滑和垂直的SIC特征蚀刻

相关内容

新网络研讨会
如何等离子体蚀刻SIC来实现最大的设备性能

白皮书
用于制造SIC电源装置的等离子体工艺解决方案

阅读和下载>

网络研讨会
启用SIC革命：等离子体处理以实现更好的性能

相关产品