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量子技术指的是下一代计算、通信、模拟和传感技术，它依赖于单个原子、电子或光粒子(光子)的两个关键特征:叠加和纠缠。
叠加使这些量子系统同时处于多种状态，而纠缠则使它们相互依赖，使它们在网络中连接的同时仍然作为一个系统发挥作用成为可能。
这一快速发展的技术领域需要广泛的量子材料工艺，用于高精度器件制造。
狗万正网地址牛津仪器等离子技术公司为量子技术研发和器件开发提供最先进的材料沉积和蚀刻工艺。利用我们在等离子体蚀刻和材料沉积方面的强大专业知识，我们使研究人员和工程师能够使用广泛的材料，并构建关键的量子器件组件，如单光子探测器，量子互连，隧道结，集成量子光学/光子学，氮空位中心等。
20nm Nb蚀刻到SiO2使用RIE
无缺陷的清洁和光滑的金刚石表面后16微米蚀刻
超导量子比特及其谐振腔PlasmaPro 100 RIE．
(由格拉斯哥大学）
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