EDX校准和健康检查标准块

• Mn(锰较高EDS探测器分辨率测试)。
• Cr(光铬元素灵敏度测试)。
• C(碳光元素灵敏度测试)。
• 敏感性测试镍(镍)。
• PTFE(聚四氟乙烯粉糖剂光元素测试)
• 定量优化(钴)。
• 铁铝榴石石榴石(定量测试)。
• 法拉第杯(孔洞大小150嗯。准确的调查/当前测量标本。有一个稳定的探针电流实现可重复分析结果)是至关重要的。
• 硅放大网格(在扫描电镜放大的校准水平。这是标有清晰可见周期性10µm广场。分界线是约1.9µm宽度和由电子束曝光)。