XYZ Calibration Reference Sample for AFM/SPM">
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A/ r校准光栅-钢夹安装
900.237
XYZ AFM/SPM校准参考样品
描述
校准基准是一个5mm x 5mm的硅模，校准区域位于芯片的中心。结构步高在100nm范围内，包装盒标签上标明的每个芯片的准确值。芯片上集成了不同形状和间距的结构阵列。
较大的正方形(1mm × 1mm)包含正方形的柱和孔，间距为10 μ m。较小的正方形(500 μ m × 500 μ m)包含圆柱和圆孔以及x - y方向的线，间距为5 μ m。模具安装在一个15毫米的钢盘上。用于AFM扫描仪校准(XYZ)。
- 5mm x 5mm硅模
- 步高- 100nm标称(准确值在盒标上注明)
- 结构
- 中心1mm区域-圆形柱子和孔- 10um间距
- 同心圆5微米区域。带额外X-Y线的圆柱和孔- 5微米间距
- 安装在15mm不锈钢标本盘上
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