7月9日

狗万正网地址牛津仪器等离子技术发布PTIQ:用于等离子体和离子束处理设备的智能控制软件

狗万正网地址牛津仪器等离子技术公司是等离子体和离子束处理设备的领先供应商，今天推出了PTIQ，这是他们领先的等离子体处理系统的一系列新的控制软件。

等离子技术创新和解决方案总监Frazer Anderson评论道:“PTIQ软件旨在为我们的客户提供卓越的响应性系统控制、可靠性和可重复性。它将优化他们的工艺性能，无论是在实验室还是在Fab。我们认识到我们的研发和大批量制造(HVM)客户有不同的需求，而PTIQ通过不同级别的软件来满足这些需求。”

弗雷泽继续说道:“PTIQ符合SEMI E95标准，便于快速、无错误的流程设置，并提供自动化的每日、每周和每月检查，以优化正常运行时间，这对我们的HVM客户来说是至关重要的。它还通过指纹识别和腔室匹配帮助提高产量，并具有灵活的批调度程序，允许吞吐量优化。它是可定制的，在任何洁净室环境中无错误，多用户操作，我们知道这将为我们的研究设施的客户带来极大的好处。我们还包括一个食谱编辑器，它与牛津仪器公司的工艺数据表相匹配，可以轻松、无错误地传输食谱。”狗万正网地址

这款革命性的软件现在可以在新系统购买时使用，也可以作为现有客户的升级版^®或Plasmalab^®系统。等离子技术客户服务总监Dean Furlong表示:

“我们的系统寿命很长，我们希望我们的现有客户能够从这款新软件中受益，以优化他们现有设备的运营和流程性能。PlasmaPro和Plasmalab系统的升级选项立即可用，包括传输配方的能力。”

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