12月17日

狗万正网地址OxfordInstruments'Atomfab®系统是在市场领先的GaN电力电子设备制造商生产的合格

狗万正网地址牛津仪器等离子体技术，等离子蚀刻和沉积大容量制造（HVM）解决方案的领先供应商对主要的化合物半导体（CS）器件制造商，其远程等离子体原子层沉积（ALD）遍布遍布衍生解决方案，符合A的全部生产美国市场领先的电力电子制造商GAN设备支持其斜坡的第一阶段。

基于GAN的设备现已在消费市场中成立，具有各种快速充电器，可商购可提供支持移动设备。快速充电和较小的占地面积是GaN技术的关键优势，并加速了消费者的快速采用。AtomFab ALD系统提供符合HVM GAN设备制造商所有权成本所需的晶圆需求。

“AtomFab能够通过独特的技术创新显着降低每个晶圆的成本，包括待职业较低的低损伤快速远程等离子体源，可提供更高质量的AL₂O._3.电影与Thermal Ald相比'Dr Aileen O'Mahony，Ald产品经理，牛津乐器博士。狗万正网地址O'Mahony博士继续：“结合等离子体ALD的等离子体预处理和胶片质量效益在不损害吞吐量或质量的情况下是实现晶圆坡道的一步变化，并产生了我们的客户。”

AtomFab在单个晶圆平台上满足客户需求，具有半标列群集配置和改进的最新化合物半导体解决方案的过程控制。对于此客户，系统完全无缝地集成到其生产线和FAB自动化软件中。

狗万正网地址牛津仪器服务总监Dean Furlong增加，“工厂自动化和监测在Fab制造线路中具有很高的重要性。与这些系统的集成同样重要，就像晶圆本身一样重要。这些系统内置于所有牛津仪器生产设备中。狗万正网地址遵循行业标准允许这位客户将工厂自动化软件快速接触到我们的系统中“

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