3月24日

庇护研究新白皮书:“用木星XR大样本原子力显微镜测量表面粗糙度”

新的基片制备、薄膜沉积技术和涂层工艺正在生产超低粗糙度表面，其测量分辨率低于传统光学和手写轮廓测量工具的测量分辨率。原子力显微镜(AFM)长期以来被认为是在纳米甚至亚纳米尺度上表征粗糙度的有用工具。下一代AFMs，比如庇护研究木星XR大样本AFM现在正在使这些测量更简单、更快、更可重复。

图像说明:在Asylum Research Jupiter XR大样本AFM上拍摄的超低粗糙度外延硅片。该扫描区域的粗糙度(Sa)仅为0.902 Å。

新白皮书出炉庇护的研究将木星XR AFM与其他表面粗糙度测量工具进行了比较，并强调了其优点。一系列来自半导体、数据存储、玻璃和造纸行业的例子展示了木星XR的速度、精度和重现性。读者将了解AFM在哪里是这些测量的首选工具，以及为什么升级他们当前的AFM能力有助于推动流程改进和生产率。

木星XR AFM具有全寻址200mm样品吸盘，简单直观的系统设置软件控制，包括激光和探测器对准，自动优化成像参数，自动多站点成像和分析，以及Asylum Research独特的blueDrive攻丝模式，提高了尖端寿命和测量重复性。它也是世界上最通用的大样本AFM，结合庇护研究的非凡的能力和配件的范围和模块化设计，支持未来的扩展。Jupiter XR是研究环境、高通量工业应用和故障分析实验室的理想研究平台。万博电脑网页版登录无论应用程序是什么，没有其他大型AFM可以与Jupiter的易用性、速度、性能和灵活性相媲美。

有关更多信息，请参见https://afm.oxinst.com/roughness