薄箔孔2mm直径，0.25mm厚，孔50UM

薄膜孔经常用于高分辨率和电子束光刻仪器的目标镜头。这些孔具有一个优势，即它们在光束中加热并有效地进行自我清洁。这可以最大程度地减少由碳污染的积累引起的散光。可以通过与聚焦电子束在短时间内加热孔径在短时间内加热孔径，从而消除了长时间操作后沉积的少量污染。在低加速电压或小探头尺寸时，使用这种孔径的好处尤其明显。薄膜孔不应在冷凝器镜片中使用，因为它们可能会融化。当然，它们更容易处理，并且可能因磨损而无法弥补，或者在真空系统中突然猛烈的空气冲刺。孔直径的正常公差为±10％。从名义尺寸的近距离公差孔±1µm可以以额外的成本提供。琼脂孔被制成异常高的标准，并且只有在SEM检查后才能接受，以检查孔的完美，其圆度和附近的销孔不存在。 Other specific apertures and diameters can also be manufactured, please enquire with details of your application.