XYZ Calibration Reference Sample for AFM/SPM">
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A/ r校准光栅-安装玻片
900.238
AFM/SPM的XYZ校准参考样品
描述
校准参考是一个5mm x 5mm的硅芯片，校准区域位于芯片的中心。结构阶跃高度在100nm范围内，每个芯片的精确值都在包装盒标签上注明。芯片上集成了不同形状和节距的结构阵列。
较大的正方形(1mm × 1mm)包含方形柱子和间距为10 μ m的孔。较小的正方形(500 μ m x 500 μ m)包含圆形柱子和孔，以及x和y方向的间距为5 μ m的线条。模具安装在一个15毫米的钢盘上。用于AFM扫描仪校准(XYZ)。
- 5mm × 5mm硅模
- 台阶高度- 100nm标称(准确值在包装盒标签上注明)
- 结构
- 中心1mm区域-圆柱和孔- 10um间距
- 同心5um区域-带有额外X-Y线的圆形柱子和孔- 5um间距
- 卸载
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