描述
Triton真空loadlock样本交流机制:•使连接在加载示例接地或偏见•低温恒温器和连接修改包括- Tailset辐射挡板修改整合适合样品持有人在混合室板对接界面——混合室对接接口连接到连接板(线路已经下令)——诱使提供长度相同UT47镀银铜混合室的停靠站——专利未决US2012/0102975A1 US2014/0202179A1, EP2742299A2 EP2409096A2•Tailset辐射挡板修改来适应。•样品持有人在混合室板对接界面•混合室上对接接口连接到连接板(线路已经下令)•技术员提供相同长度UT47镀银铜混合室的停靠站•需要sp - 086: 72毫米样品交换系统样品持有人
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