XYZ Calibration Reference Sample for AFM/SPM">
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A / R校准光栅-卸载
900.239
XYZ校准参考样本AFM / SPM
描述
校准参考是一个5毫米x 5毫米硅模与校准地区位于中心的芯片。结构阶梯高度在100纳米的范围与每个芯片的精确值显示在盒子上的标签。数组的结构有不同的形状和集成在一块芯片上。
大广场(1毫米x 1毫米)包含方形柱和孔10µm音高。小广场(500µm x 500µm)包含圆形柱子和漏洞以及线在x和y方向5µm音高。模具安装在15毫米钢磁盘。用于AFM扫描校准(某某)。
- 5毫米x 5毫米硅死去
- 阶梯高度- 100 nm名义(精确值显示框标签)
- 结构
- 1毫米中心地区——圆形柱和孔- 10嗯
- 同心5嗯地区-圆形柱和孔与额外的x - y - 5嗯行间距
- 卸载
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