4月7日

知识和能力:狗万正网地址Oxford Instruments Plasma Technology和LayTec携手为化合物半导体器件的生产提供关键的前端处理解决方案

牛津仪器等离子技术公司(Oxford Instruments Plasma technology)和LayTec日前宣布，两家复合半导狗万正网地址体行业的技术领导者达成了一项独家合作协议，以实现下一代高容量制造(HVM)环境中先进半导体器件的需求。此次合作旨在开发和整合LayTec的精度和控制与牛津仪器著名的晶圆加工专业知识。狗万正网地址

他们将把等离子体工艺解决方案与经过验证的现场计量技术相结合，以实现下一代设备的性能，并实现可重复的HVM工艺，以缩短客户的产量斜坡。LayTec将开发现场测量技术，而Oxford Instruments将整合LayTec的控制和狗万正网地址先进的晶圆加工解决方案，为客户提供一个增强的解决方案。

受高效功率转换市场需求的驱动，基于GaAs/InP、SiC或GaN等材料的IoT和datacomms复合半导体器件因其优越的性能而越来越多地被使用。然而，将该技术从小型原型转移到晶圆级HVM仍然存在挑战。尽管器件尺寸与更大的是，通常复杂的层结构意味着需要在这些层中进行精确的处理，以实现所需的工艺稳定性和产量，从而降低每片晶圆的成本，并加快目标应用的采用。

LayTec首席执行官Volker Blank评论：“LayTec非常高兴能与牛津仪器等创新领先企业合作，进一步扩大其产品组合。这种技术合作关系使我们能够通过应用数据分析和定制高精度光学系统集成的关键知识，在传统核心市场之一的工艺链上进一步扩展al metrology systems。在为化合狗万正网地址物半导体行业的客户服务了二十多年之后，我们期待着这一新的机会，为客户提供进一步的工艺和设备优化方面的支持。”

牛津仪器公司创新与解决方案总监弗雷泽·安德森表示：“这是实施我们的产品开发战略的关键下一步，加速的时间安排狗万正网地址反映了我们在所服务的市场中看到的最近的势头。这也强调了我们致力于为客户提供持续的生产力改进。”

安德森继续说：“随着我们进入一个非常激动人心的创新和增长期，我们的公司打算满足提高性能和降低拥有成本目标的要求，以支持新兴GaN电源和射频市场的需求。与LayTec的合作将进一步提高我们满足这两个要求的能力s、 "

狗万正网地址Oxford Instruments是化合物半导体加工领域公认的技术领先者，在HVM客户处安装了一系列经验证的晶圆加工解决方案。将Oxford Instruments稳定的等离子体处理平台与LayTec在等离子体蚀刻应用中创新而精确的端点技术相结合，可实现对提高晶圆到晶圆产量所需的易磨损性。联合开发和独家供应协议的协同效应将使两家公司的专业知识能够开发和提供独特的HVM就绪解决方案，以满足化合物行业不断变化的需求。长期协议将涵盖牛津Instrum整个系列的开发ents的等离子蚀刻和沉积系统，具有知识产权（IP）的共享权，生产和协调营销活动。第一个联合客户解决方案的交付目标为2021年下半年。万博电脑网页版登录

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为牛津仪器有限公司发行并代表牛津仪器有限公司发行。狗万正网地址

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Claire Critchell，牛津仪器等离子技术公司营销传播经理狗万正网地址

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