2016年10月03

狗万正网地址牛津仪器通过蚀刻开发用于射频器件制造的SiC

作为广泛应用的工艺解决方案的领先供应商，牛津仪器很高兴地宣布，利用高性能等离子蚀刻工艺开发并推出了SiC狗万正网地址万博电脑网页版登录等离子体箴One hundred.北极星蚀刻系统。

碳化硅是一种越来越重要的材料，特别是在以碳化硅为基片的高性能氮化镓射频器件领域。平滑的通过SiC的蚀刻是实现这些设备的关键，牛津仪器已经开发出了高效蚀刻高质量SiC穿透的理想解决方案。狗万正网地址结合在同一硬件内的低损伤氮化镓蚀刻等离子体箴One hundred.北极星为GaN基射频器件等离子体刻蚀处理需求提供了独特的能力。

开发的技术提供了几个工艺能力，适合通过应用SiC:

• 高SiC腐蚀速率，最大吞吐能力
• 光滑的侧壁无问题后蚀刻金属化
• 对底层氮化镓层的高选择性，在氮化镓器件层上提供平滑、低损伤停止
• 使用牛津仪器独特的专利静电钳技术夹紧蓝宝石载体，确保出色的样品温度控制和狗万正网地址最大收率
• 通过先进的等离子体源技术在同一工具中刻蚀SiC和GaN的能力
• 长平均清洁时间(MTBC)提供高利用率

牛津仪器等离子体技术的光电子产品经理Mark Dineen博士说:“我们的应用专家花费了大量的时间，通狗万正网地址过在万博电脑网页版登录等离子体箴One hundred.Polaris蚀刻系统，具有高选择性和高通量等优点。这些优势将使我们的客户能够通过先进的等离子体源技术在同一工具中同时蚀刻SiC和GaN。”

狗万正网地址牛津仪器提供世界领先的等离子处理系统，并提供超过6000种工艺配方的图书馆，所有这些都由全球支持和服务网络支持。