6月3日

狗万正网地址牛津仪器庇护研究释放
新的申请注意引入扫描电容显微镜（SCM）

2020年6月3日（加利福尼亚州圣塔芭芭拉）。狗万正网地址牛津工具庇护所研究很高兴提出有关SCM的扫描电容显微镜（SCM）技术和应用的新应用说明。万博电脑网页版登录半导体设备和其他高级材料的示例证明了独特的功能。与较旧的SCM电路设计相比，提高灵敏度，更快的扫描，更高的分辨率以及庇护所SCM模块电容的直接测量。申请注释对于那些不熟悉SCM技术的人以及目前使用SCM但不知道该技术的最新进展的人都是理想的选择。

牛津仪器庇护所产品主管多米尼克·帕斯基克斯（Dominic Paszkeicz）评论说：“我们的新应用程序展示了我们最近发布的扫描电容显微镜配件的一些独特功能。”狗万正网地址对于那些努力解释早期SCM模块生成的差异电容（DC/DV）数据的人来说，样本将特别感兴趣。”

尽管大多数人通常用于在处理或进行故障分析过程中研究半导体设备，但庇护所SCM模块的新较高灵敏度使其可以在更广泛的材料范围内使用，包括那些不形成天然氧化物层的材料。应用注释中显示了一些此类示例，包括对2D材料，量子点和储能材料的研究。

有关更多信息，请参见https://afm.oxinst.com/outreach/scanning-capacitance-microscopy-scm-application-note

图像标题：庇护所SCM模块可用于传统的半导体材料以及其他传统上不使用SCM的高级材料。（顶部）与传统SCM模块的DC/DV数据不同，直接测量电容的独特能力可以与掺杂剂浓度线性相关。（底部）此电池电极材料以前不被认为是SCM成像的良好候选者，但是庇护所SCM模块的较高灵敏度揭示了右侧的电容通道中的对比，超出了左侧的地形图中可以观察到的。。